硅沉着病的主要原因是長期接觸礦物質粉塵導致吸入性肺病。患者吸入硅粉塵所致的永久性肺組織瘢痕形成。 硅沉着病的發病機制目前認為是二氧化硅顆粒被肺泡巨噬細胞吞噬，留在吞噬小體內產生毒性作用，導致吞噬細胞溶酶體解體和細胞破壞，釋放出二氧化硅粉塵顆粒，再被其他吞噬細胞吞噬，如此反覆進行導致硅沉着病的發生。 在山區修建道路和挖掘隧道的風鑽工、爆破工和運輸工接觸粉塵最多，是患有該疾病的高發人羣。另外，建築材料行業的採石工、石料粉碎工等，都會引起硅沉着病的發生。
